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高功率红外微波少子寿命测试是通过光电导衰减、电阻率分析等技术手段,评估半导体材料中非平衡载流子复合速率的检测方法。该方法采用准稳态光电导(QSSPC)、高频光电导衰减(HF-PCD)等独特原理,可灵敏检测硅材料的重金属污染、陷阱效应及表面复合缺陷。在半导体制造领域,该技术应用于硅棒切片、扩散工艺及太阳能电池生产的工艺监控,通过分析开路电压曲线与载流子浓度变化优化制造参数。
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更新时间:2025-11-01
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高功率红外微波少子寿命测试是通过光电导衰减、电阻率分析等技术手段,评估半导体材料中非平衡载流子复合速率的检测方法。该方法采用准稳态光电导(QSSPC)、高频光电导衰减(HF-PCD)等独特原理,可灵敏检测硅材料的重金属污染、陷阱效应及表面复合缺陷。在半导体制造领域,该技术应用于硅棒切片、扩散工艺及太阳能电池生产的工艺监控,通过分析开路电压曲线与载流子浓度变化优化制造参数。测试仪器的核心模块包含高频信号源、同步控制电路与数据采集系统,支持非接触式测量与批量样品分析。
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