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设备主要利用涡电流测试原理,非接触测试半导体材料,石墨烯,透明导电膜,碳纳米管,金属等材料的方阻(电阻率)。可实现单点测试,亦可以实现面扫描的测试功能,可用于材料研发及工艺的监测及质量控制
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人们通常将材料分为导体、半导体和绝缘体三个大类。金属材料是良好的导体材料,在电力方面,铝及铝合金和铜及铜合金材料是金属材料中使用比较广泛的导电材料,导电性能是这些材料关键的技术指标。衡量材料的导电性能的常见电性能参数有:电阻率、电阻、电导、电导率、导电率以及电阻温度系数、电阻率温度系数等。我公司新研发涡流法电阻率测试仪,非接触式测试,不损伤晶圆表面,方面快捷。
涡流法主要用于非接触式,可测量1E-3(1m)至1E + 4(10k)Ω/□电阻范围。
它可用于半导体,化合物半导体,液晶和新型碳基材料等广泛领域的测量。
涡流测量系统使用电磁感应产生的涡流来测量电阻。
非接触式测量探头单元的探头芯(磁性材料)在两侧(上下)以一定的间隙排列
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