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晶锭涡流法电阻率测试仪：电阻率是用来表示各种物质电阻特性的物理量。某种物质所制成的原件(常温下20°C)的电阻与横截面积的乘积与长度的比值叫做这种物质的电阻率。电阻率与导体的长度、横截面积等因素无关，是导体材料本身的电学性质，由导体的材料决定，且与温度有关。电阻率在国际单位制中的单位是Ω·m，读作欧姆米，简称欧米。常用单位为“欧姆·厘米“。
产品型号：厂商性质：生产厂家更新时间：2024-11-30访 问 量：88
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晶锭涡流法电阻率测试仪可以通过涡流测量高精度和分辨率为1毫米的方式来测量晶圆片或晶块的电阻率。由于距离相关的内部布局矩阵，涡流传感器有一个非常好的长期稳定性因此，每个电阻率图都是测量表面接地度的几何图。电阻率可与少数负载流子消耗和光电导率图同时测量。在进行电阻测量时，需要用户提供样品的厚度。
晶锭涡流法电阻率测试仪技术参数：
步径≥1mm
边缘：12mm
电阻率片厚：150-250μm
电阻率范围
默认设置：0.5-5 Ohm cm
准确度：<3%
重复性：<1%(范围从0.5-3 Ohm cm)
为了研究发射极扩散的均匀性，有可能出现较弱的发射极的方阻。基础的电阻率由用户给出。
方阻测量范围为0.1-200 Ohm/sq。
以标准样品量下的准确度，
0.1-10 Ohm/sq：<3%精度
10-100 Ohm/sq：<3%精度
100-200 Ohm/sq：<3%精度
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